国资委支持沈阳集成电路产业再建创新发展新平台

时间：2025-04-09 17:56:30 标签: 144 0

拓荆科技携手沈阳市国资委推进集成电路装备创新

近日，国内领先的半导体设备制造商拓荆科技发布公告，宣布与沈阳市国资委及其他产业合作伙伴共同发起设立辽宁省集成电路装备及零部件创新中心（以下简称"创新中心"）。该创新中心旨在整合各方资源，推动半导体设备领域的技术突破和产业发展。

拓荆科技作为国内半导体设备领域的重要企业，其产品线涵盖PECVD、ALD、SACVD等多种薄膜沉积设备，广泛应用于逻辑芯片和存储芯片制造。同时，公司还推出了用于晶圆级三维集成的混合键合设备，并实现了产业化应用。

此次与沈阳市国资委的合作，双方将充分发挥各自优势：一方面，沈阳市国资委将统筹协调资源，为创新中心提供资金支持并营造良好发展环境；另一方面，拓荆科技等企业凭借其在半导体设备领域的技术积累和市场地位，为创新中心的发展提供坚实支撑。

创新中心的设立将积极响应国家战略规划，围绕半导体产业趋势布局前沿技术，推动整机装备和零部件企业的集聚发展，进一步提升产业链协同效应和创新能力，助力我国集成电路产业实现高质量发展。目前，创新中心仍处于筹备阶段，需获得当地主管部门批准并完成登记。

辽宁加速推进集成电路装备产业集群建设

2025年是《辽宁省培育壮大集成电路装备产业集群若干措施》政策实施的最后一年。为落实这一目标，辽宁省正加快推进集成电路装备产业的发展步伐，特别是在沈阳等核心城市展开了一系列实质性动作。

沈阳作为辽宁省会，已聚集了拓荆科技、芯源微电子、富创精密等一批行业领先企业。今年以来，沈阳在集成电路装备领域动作频频：总投资30亿元的高端半导体设备产业化基地项目和高端晶圆处理设备产业化项目相继开工建设；富创精密计划收购浙江镨芯股权，进一步扩大其在半导体设备零部件领域的布局；贺利氏石英沈阳新工厂也正式竣工投产。

据辽宁媒体报道，未来三年内沈阳将重点推进74个集成电路装备产业项目。通过龙头企业带动、重点项目实施以及跨区域合作，沈阳有望打造成为全国重要的集成电路装备及零部件产业基地。

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